名稱 |
內容 |
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測量范圍 |
Z軸(垂直) |
160μm |
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X軸(水平) |
17.5mm |
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分辨率 |
Z軸(垂直) |
0.01μm/±20μm |
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0.02μm/±40μm |
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0.04μm/±80μm |
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測量項目 |
參數 |
Ra、Rq、Rz、Rt |
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標準 |
ISO、GB |
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濾波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P |
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取樣長度(lr) |
0.25,0.8,2.5 (mm) |
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評定長度(ln) |
Ln= lr×n n=5 |
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傳感器 |
測量原理 |
位移式差動電感 |
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觸針 |
天然金剛石,90錐角,5μm針尖半徑 |
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測力 |
<4mN |
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導頭 |
紅寶石,滑行方向半徑40mm |
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滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s |
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lr=0.8, Vt=0. 5mm/s |
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lr=2. 5, Vt=1mm/s |
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返回 Vt=1mm/s |
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示值誤差 |
不大于±10% |
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示值變動性 |
不大于6% |
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電源 |
內置鋰離子充電電池,用8.4V,1000mA充電器充電 |
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外形尺寸 |
119×47×65mm |
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重量 |
約380g |
主機 | 1臺 |
標準傳感器 | 1支 |
多刻線標準樣板 | 1塊 |
電源適配器(220V,50Hz) | 1個 |
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