光學系統規格

物鏡目鏡顯微鏡工作

距離視場

直徑

放大倍數焦距放大倍數焦距放大倍數

2.5×/0.0843.4010×25.0025×58.845.6

10×/0.2517.13100×7.811.6

測量工作臺讀數裝置主要規格

X軸遇到測量范圍50nm

Y軸遇到測量范圍13nm

測量器分度值：0.01nm

測量臺轉動范圍不限：NO limit

測量臺刻度盤分度范圍：0°～360°

測量臺刻度盤之分度值：1°

測量臺刻度盤游標讀數示值：6’

測量精度：

儀器示值誤差：± （4+L/15）μ m

儀器示值誤差：包括測量誤差和系統誤差

注：測量地點溫度變化20℃ ±3℃，L--被測件長度