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蘇州奧揚 用于潔凈工藝的干泵
普發(fā)真空擁有成熟的多 羅茨干泵技術，為潔凈工藝提供各類解決方案。在這些應用中，真空泵具有抽速高、
堅固耐用和可靠性高的顯著特點。
ACP 系列中的風冷多 羅茨泵
ACP 系列的多 羅茨泵是專為無油無顆粒的應用工藝而設計，壓力范圍在大氣壓到 3 · 10-2hPa 之間。在用
于殘余氣體分析系統(tǒng)、電子顯微鏡或 UHV 系統(tǒng)中時，該氣冷泵是旋片泵的 佳取代產(chǎn)品。它們可作為渦輪分
子泵的理想粗真空泵。G 型號系列真空泵是專為傳輸少量腐蝕性氣體而特殊研發(fā)設計的。該版本的ACP系列
真空泵適用于傳送腔、工藝監(jiān)測系統(tǒng)及離子束應用中。 ACP 系列產(chǎn)品中，CV 型號的風冷真空泵具有高達
1,000 g/h的水蒸汽容量。該系列產(chǎn)品是專為避免泵體內(nèi)的蒸汽冷凝而設計的。
應用
- 電子顯微鏡
- 表面分析儀
- 檢漏儀
- 質(zhì)譜儀
- 光譜儀
- 粒子加速器
- 渦輪分子泵組
- 實驗室
- 燈具制造
- 真空鍍膜
- 低溫泵再生
- 等離子清洗
- 干燥
- Load-lock
| 1264-Typical ultimate pressure with N2 purge |
1 · 10-1 百帕 |
| 典型 終壓力 |
3 · 10-2 百帕 |
| 冷卻 |
空氣 |
| 尺寸（長 x 寬 x 高） |
647 x 193 x 322 毫米 |
| 帶氣鎮(zhèn)的典型 終壓力 |
1 · 10-1 百帕 |
| 抽速 |
27 m³/h |
| 大氦氣泄漏率 |
5 · 10-7 Pa m3/s |
| 大連續(xù)進氣壓力 |
1013 百帕 |
| 終壓力時的功率消耗 |
700 瓦 |
| 版本 |
標準 |
| 環(huán)境溫度 |
12 – 40 攝氏度 |
| 電源連接:頻率(范圍) |
50/60 Hz |
| 過程 |
清潔制成工藝 |
| 連接法蘭（入口） |
DN 25 ISO-KF |
| 連接法蘭（出口） |
DN 25 ISO-KF |
| 重量 |
30 千克 |
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