應(yīng)用：
晶圓清洗和漂洗（濕臺系統(tǒng)）
流動(dòng)閃點(diǎn)溶劑和酸的加熱
與單程或再循環(huán)系統(tǒng)*起使用
與 PFA 管式加熱器的用途相似，但溫度限制更高
涉及爆炸性蒸氣的過程
精確溫度控制至關(guān)重要的情況
特點(diǎn)與優(yōu)勢：
流路與加熱元件無接觸
允許安全加熱低閃點(diǎn)溶劑
加熱介質(zhì)隔離在無縫 316 不銹鋼管中
溶劑管經(jīng)過鈍化和電拋光以確保純度
自排放流量管消除了殘留的碎屑
冷卻管快速將熱量降低到閃點(diǎn)以下
NEMA 7 防爆電氣外殼
配備堅(jiān)固的傳感器和開關(guān)陣列
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