Brooks Instrument去離子水蒸汽輸送模塊VDM300
Brooks Instrument 的蒸汽輸送模塊 (VDM) 是用于高精度輸送超高純度去離子水蒸汽的高性能、自足式模塊。它的特點(diǎn)是節(jié)能設(shè)計(jì)，能在低溫環(huán)境下產(chǎn)生超高純蒸汽。該模塊采用了成熟的蒸汽輸送技術(shù)，并結(jié)合了 進(jìn)的數(shù)字控制和集成診斷功能，集成在 個小巧，方便的外殼中。
VDM 專為 進(jìn)的剝離和金屬刻蝕后段鈍化工藝設(shè)計(jì)。相比閃蒸系統(tǒng)，它能提高精度，使流速更快，控制范圍更廣，功耗更小。基于成熟的熱式質(zhì)量流量測量技術(shù)，VDM 能在非過熱蒸汽階段產(chǎn)生蒸氣，從而降低去離子水的侵蝕效果，提高了可靠性，改良了清潔操作。
它還通過 個獨(dú)立的服務(wù)端口和直觀的圖形用戶界面，提供人性化的數(shù)據(jù)記錄和診斷功能。
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