WAT是采用了專利技術了三溫滑動專利TriTemp® Slide的翹曲矯正機
ERS WAT330 是適用于300/3000/30 類型的適用于300/3000/3 的LPW 因LP 3 因曲而修改了ERS。采用三溫滑動技術TriTemp® Slide，在工藝流程的每個人都可以進行翹曲，確保植物的性質可以與工具相匹配。
ERS WAT 300在操作過程中可以處理 多該4個FOUP的操作過程中可以處理 多的4個FOUP的主動識別器和自動識別任務的識別器。該系統可以根據不同的情況進行測量站、測量站，設計用于曲測量/監控站。該系統具有特殊的環境，對翹曲進行調節膜。
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