MKS閥門R系列閘閥
R系列閘閥經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可用于隔離半導(dǎo)體和普通真空應(yīng)用中的粗加工泵和粗加工生產(chǎn)線。R系列提供多種選項(xiàng),包括氣動(dòng)和手動(dòng)執(zhí)行器,鎖定掛牌功能和位置指示器。R系列采用彈性軸密封,用于執(zhí)行器密封,可實(shí)現(xiàn)高性能,低成本,高價(jià)值的包裝,適用于粗加工真空應(yīng)用。R系列閘閥的不銹鋼版本有DN80,DN100和DN160兩種尺寸。
具有成本效益和高價(jià)值
允許粗抽泵在前 維護(hù)期間保持運(yùn)行
高性能加熱器選項(xiàng)
循環(huán)壽命長(zhǎng)