MKS流量計(jì)，多氣體，多范圍質(zhì)量流量控制器
多氣體，多范圍，彈性體密封，50 - 50,000 sccm質(zhì)量流量控制器
G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485，Profibus，EtherCAT或DeviceNetI / O. 數(shù)字控制電子設(shè)備利用 新的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1％的設(shè)定點(diǎn)精度。
流速?gòu)?到50,000 sccm
Viton，Buna，氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項(xiàng)
建立時(shí)間小于750毫秒
標(biāo)準(zhǔn)封閉電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的0.1％
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