MKS真空壓力傳感器901P系列
901 Plus(901P)負(fù)載鎖定傳感器(LLT)專為負(fù)載鎖定環(huán)境而設(shè)計(jì),結(jié)合了Piezo和Micro Pirani™真空傳感器技術(shù)。與傳統(tǒng)的導(dǎo)熱系數(shù)相比,這種組合輸出可提供更高的精度,穩(wěn)定性,可重復(fù)性和更快的響應(yīng)時間。
對壓力測量范圍為1,000至10 -5 Torr
單個傳感器具有3傳感器功能,適用于寬測量范圍
模擬,RS232,RS485和EtherCAT®版本
可選的集成觸摸屏顯示器,可用于本地壓力指示
快速,準(zhǔn)確和可重復(fù)的壓力測量可縮短工藝周期
三個可選設(shè)定點(diǎn),響應(yīng)時間快,可靠的過程控制